E2M80T4真空泵维修来电咨询「在线咨询」东华帝君的真身是什么

真空泵维修对零件更换的要求

真空泵维修过程中，零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要，对此维修人员一定要对机械结构及其原理不是了解，同时注意其零件之间的精度及配合公差，因为不同的质量的配件及其型号规格精度都对泵浦组装后的性能产生重大的影响。

主要特性和优势

双活塞设计 | 便于维修，部件更少，各个型号之间的部件可相互替换，大间隙设计优化了在要求严苛的应用中的性能

外部平衡 | 极低的振动级别，便于维修

三轴承设计 | 坚固耐用的重型设计，活塞和滑片使用寿命更长，与市面同类型产品相比维修间隔平均时长增加高达 50%，密封件寿命更长

密封阀盖 | 使用寿命更长，低噪音，易于维护，部件之间可相互替换，适用于严峻环境的哈氏合金弹簧以及复位弹簧设计

O 形圈密封件 | 易于维修，维修间隔更长，泄漏风险降低

集成式组装性能 | 减少泄漏通路，便于安装配件

低转速 | 转速小于 500 RPM，比市面同类型产品慢达 50%，损耗更少，旋转损耗泵的寿命更长，处理微粒应用的能力更强

全泵速可达 1 Torr | 减少循环时间

较低的极限真空 | 极限值小于 0.01 Torr

高达 600 Torr | 持续高压泵送，具有适用于多种应用的灵活性，操作简单

泵系列

Stokes 212J

Stokes 412J

Stokes 612J

真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：

1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；

2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；

3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，找平先用水泥浆填充顶座，待水泥浆做先再检查一下水平度；

应用

半导体的目标应用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目标应用包括：

PECVD

TCO

刻蚀

传输腔

主要特性和优势

针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。

大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。

占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。

符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。

真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。

应用

镀膜

玻璃镀膜 机的负载锁和大型内嵌镀膜机

卷绕镀膜 和粘辊

光学镀膜、 镜片镀膜和显示屏镀膜

表面镀膜，如等离子体沉积和 反射或装饰镀膜

干燥

变压器 干燥

汽车 干燥和填充系统

制冷和空调

电池和电容器干燥

热处理

回火

淬火

退火

真空 钎焊

电子束和等离子焊接

一般工业