东莞市清溪利成感光五金厂本厂主要做曝光显影工艺,平面、圆弧面、凹凸面、喷砂1氧2氧阳极、五金丝印.五金腐蚀等产品加工,有多年经验,有需要以上的工艺欢迎您的到来参观和洽谈,可免费打。
显影的主要过程如下:对准曝光一曝光后烘一显影一坚膜一显影检测。
显影( develop)
PEB之后,硅片冷却至239℃左右,与显影液温度相同,并与显影液发生化学反应。
一般来说,显影过程中被曝光和未曝光部分的光刻胶都会与光刻胶发生反应,因此,为得到良好的显影效果,可以通过改变显影液成分,显影温度,显影方式,与显影步骤等因素来加快曝光与为曝光部分光刻胶的溶解速率。
若对显影的要求不高,可以直接将硅片放入显影液槽中浸泡然后取出。对于大部分对显影要求较高的生产及实验过程,通常使用的匀胶显影机来自动控制显影过程,如图3回x回 e
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曝光显影完成后进行检测,合格品就可以进入蚀刻加工了。蚀刻加工的产品大都为精密零件,因此每一步的工艺设置与检测都需要严格控制,才能保证蚀刻完成后的加工质量。
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曝光显影 曝光也叫感光,是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面,主要的目的是通过曝光让菲林上的图案在材料上对应成型,感光(曝光)过程中要特别注意夹具一定要放好,菲林不能歪斜,否则产品图案就会出现歪斜现象,从而产生不良品,而菲林也要定期检查,不能出现折叠现象,否则也会出现不良品。定影:胶片经曝光、显影后仅有25%银盐还原为银粒,组成负片上的影像,其它卤化银仍有感光能力,所以需要进行定影处理。
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